TY - BOOK AU - García Sánchez,Silvia AU - González Díaz,Germán AU - Martil de la Plaza,Ignacio ED - e-libro, Corp. TI - Láminas delgadas de SiNx:H y SiOx depositadas mediante la técnica ECR-CVD para su aplicación en estructuras MIS AV - QC23 G216 1996 U1 - 530 22 PY - 1996/// CY - Madrid PB - Universidad Complutense de Madrid KW - Ciencias físicas KW - Física aplicada KW - Electricidad KW - Electrónica KW - Physics KW - Ciencias fisicas KW - Fisica aplicada KW - Electronica KW - Libros electrónicos N1 - Universidad Complutense de Madrid. Facultad de Ciencias Físicas. Departamento de Física Aplicada III (Electricidad y Electrónica); Recurso electrónico. Santa Fe, Arg.: e-libro, 2015. Disponible vía World Wide Web. El acceso puede estar limitado para las bibliotecas afiliadas a e-libro UR - https://elibro.net/ereader/uqroo/87940 ER -