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_bG216 1996
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_222
100 1 _aGarcía Sánchez, Silvia.
_9285843
245 1 0 _aLáminas delgadas de SiNx:H y SiOx depositadas mediante la técnica ECR-CVD para su aplicación en estructuras MIS
_h[recurso electronico] /
_cSilvia García Sánchez ; director Germán González Díaz, Ignacio Martil de la Plaza.
260 _aMadrid :
_bUniversidad Complutense de Madrid,
_c1996.
300 _a343 p.
500 _aUniversidad Complutense de Madrid. Facultad de Ciencias Físicas. Departamento de Física Aplicada III (Electricidad y Electrónica).
533 _aRecurso electrónico. Santa Fe, Arg.: e-libro, 2015. Disponible vía World Wide Web. El acceso puede estar limitado para las bibliotecas afiliadas a e-libro.
650 0 _aCiencias físicas.
_9264265
650 0 _aFísica aplicada.
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650 0 _aElectricidad.
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653 _aCiencias fisicas
653 _aFisica aplicada
653 _aElectronica
655 4 _aLibros electrónicos.
_96898
700 1 _aGonzález Díaz, Germán,
_edir.
_9503803
700 1 _aMartil de la Plaza, Ignacio,
_edir.
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710 2 _ae-libro, Corp.
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